低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻（zǔ）擋放電形式產生等離（lí）子體，所（suǒ）產生等離子體（tǐ）的密（mì）度大，初用於氟利昂類、哈隆類物質的分（fèn）解處理，後延伸至工業惡臭（chòu）、異味。

低溫等離子廢氣處理技術，采用雙介質阻擋放電形式產生等離子體，所產生等離子體的密度大，初用（yòng）於氟利昂（áng）類、哈隆類物質的（de）分解處理，後延伸至工業惡臭、異味、有毒有害（hài）氣體處理。

該技術節能、環保，應用範圍廣，所有化工生產環節產生的惡臭異味幾乎都可以處理，並對二惡英有良好的分解效果。

等離子體工業廢氣處理技術已（yǐ）研製出標準化廢氣（qì）治理（lǐ）設備，利用所產生的電子、自由基等活性粒子（zǐ）激活、電離（lí）、裂解（jiě）工業廢氣中的各組成份（fèn），使之發（fā）生分解（jiě），氧化等一些列（liè）複雜的化學反應，再經過多級（jí）淨化，從而消除各種汙染源（yuán）排放的異味（wèi）、臭味（wèi）汙染物，使有毒有害氣體達到低毒化，保護人類生存環境。由於其對汙染物分（fèn）子（zǐ）的分（fèn）解且處理能耗低（dī）等特點，為工業廢（fèi）氣（qì）的處理開辟了一條新的（de）思路（lù）。

作用原理：

低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之後的物質第四態（tài），當外加電壓達到氣體（tǐ）的放電（diàn）電壓時，氣體被擊穿，產（chǎn）生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電（diàn）過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整（zhěng）個體係呈（chéng）現低溫（wēn）狀態，所以稱為低溫等離子體。

低溫等離子體降解汙染物是（shì）利用這些（xiē）電子、自由基等活性粒子和廢氣中的（de）汙染物作（zuò）用（yòng），使汙染物分子在極短的時間內發生（shēng）分解，並發生後續的各種反應以達到降解汙染物（wù）的目的。（注：低溫（wēn）等離（lí）子體相對（duì）於高溫等離（lí）子體（tǐ）而言（yán），屬於常溫運行。）

等離子體反應（yīng）區富含物質，如電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的汙染物質可與這些具有較量的物（wù）質發生反應，使（shǐ）汙染物質在極短的時間內發生分解（jiě），並（bìng）發生（shēng）後續的各種反應（yīng）以（yǐ）達到降解汙染物（wù）的目的。